● 较高测量精度:Height (Z) :0.5μm
● 重复精度:Height :below 1.2μm , Volume :below 1%
● 放大倍率:50X
● 光学检测系统:黑白200万像素 CCD
● 激光发生系统:红光激光模组
● 自动平台系统:全自动
● 测量原理:非接触式激光束
● X/Y可移动扫描范围: 300mm(X) × 300mm(Y)
● 较大可测量高度:5mm
● 测量速度:较大60 Profiles / min
● SPC 软件:Cp、Cpk、Sigma、Histogram Chat、 X bar R