本型泵为双级结构,低级转子套在转子轴上。此结构除体积小、重量轻、功耗低等优点外,当进气压强较高时,二级可同时将气体排出泵腔,当气体压强较低时,气体由进气口进入腔,经压缩后通过级间气道进入低级腔,再次压缩后,从排气阀排出。因此,可获得比单级泵为高的极限真空。
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